I tubi dei forni a semiconduttore (come quelli utilizzati nei forni a diffusione, nei forni a ossidazione, ecc.) devono soddisfare requisiti rigorosi quali purezza ultra elevata, stabilità alle alte temperature e resistenza agli shock termici. Il tubo da forno RSiC è diventato un materiale di uso comune grazie alle sue eccellenti proprietà. La purezza del corpo sinterizzato è superiore a 3N e la precisione di lavorazione è di 0,01 mm.
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Il cilindro isolante della camera del forno è un componente fondamentale del campo termico utilizzato nei processi di produzione dei semiconduttori, come la crescita del silicio monocristallino e il trattamento termico dei wafer. Il cilindro isolante deve soddisfare i requisiti di temperatura estremamente elevata, elevata purezza ed eccellente isolamento termico.
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La piastra di schermatura termica del forno è il componente principale dei semiconduttori ad alta temperatura, i pannelli fotovoltaici. Nuova attrezzatura per la sinterizzazione di materiali con piastra di schermatura termica RSiC. La piastra di schermatura termica RSiC presenta le seguenti caratteristiche: resistenza alle alte temperature, bassa perdita di calore e lunga durata.
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La pala a sbalzo in carburo di silicio ricristallizzato è un componente ceramico ad alte prestazioni, utilizzato principalmente in settori quali quello chimico, metallurgico, della protezione ambientale e dei semiconduttori, grazie alla sua superiore resistenza alle alte temperature, alla corrosione, all'usura e alla buona stabilità agli shock termici.
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Tubo del forno RSiC: il tubo del forno in carburo di silicio ricristallizzato è un componente chiave nelle apparecchiature di produzione di semiconduttori, utilizzato principalmente in camere di processo ad alta temperatura (come crescita epitassiale, impianto ionico, forni a diffusione, ecc.). La purezza del corpo sinterizzato è superiore a 3N e la precisione di lavorazione può raggiungere 0,01 mm, soddisfacendo i requisiti di purezza ultra elevata, resistenza alla corrosione e dimensioni di precisione.
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