Tubo per forno RSiC ad alta purezza per semiconduttori
DESCRIZIONE DEL PRODOTTO
Il forno per semiconduttori, pietra angolare della moderna produzione di chip, si basa su un componente fondamentale: il tubo del forno RSiC. Questo tubo del forno in carburo di silicio ad alta purezza funge da cuore dei forni di diffusione e ossidazione verticali o orizzontali. All'interno di questo tubo, i wafer su supporti specializzati vengono sottoposti a precisi processi ad alta temperatura in atmosfere controllate. In quanto indispensabile piattaforma ad alta temperatura, il tubo del forno RSiC è fondamentale per i principali processi dei semiconduttori, tra cui ossidazione termica, diffusione, LPCVD e ricottura, offrendo uniformità, stabilità e capacità produttiva ineguagliabili.
Caratteristiche del tubo del forno RSiC
L'applicazione di materiali in carburo di silicio in apparecchiature a semiconduttore ad alta temperatura comporta diversi vantaggi critici:
Eccezionale stabilità alle alte temperature: in grado di funzionare a lungo in ambienti con temperature superiori a 1600 °C, con tolleranza a breve termine fino a 1800 °C.
Resistenza superiore agli shock termici: la combinazione di elevata conduttività termica e basso coefficiente di dilatazione termica consente al tubo del forno in carburo di silicio di resistere a rapidi cicli di riscaldamento e raffreddamento senza danni.
Eccezionale inerzia chimica: presenta un'eccellente resistenza alla corrosione causata da acidi, alcali e vari gas di processo, garantendo la purezza del processo.
Elevata resistenza meccanica e durezza: mantiene l'integrità strutturale e resiste alla deformazione sotto elevati carichi termici e meccanici, garantendo una lunga durata.
Distribuzione uniforme del campo termico: progettato per mantenere un profilo di temperatura estremamente costante, con un gradiente di parete minimo, fondamentale per l'uniformità del processo su tutti i wafer.
CARATTERISTICHE E VANTAGGI
Resistenza alle temperature estreme: garantisce prestazioni e longevità nei processi termici più impegnativi.
Capacità di cicli termici rapidi: il robusto tubo del forno RSiC è in grado di gestire velocità di riscaldamento e raffreddamento aggressive, aumentando la produttività e riducendo i tempi di ciclo.
Elevata conduttività termica: garantisce un efficiente trasferimento di calore e un ambiente termico stabile e uniforme all'interno del tubo del forno in carburo di silicio.
Integrità strutturale superiore: fornisce un supporto affidabile e senza cedimenti per le imbarcazioni wafer per una durata di servizio prolungata.
Eccellente resistenza alla corrosione e all'usura: protegge dagli agenti chimici aggressivi dei processi e dall'erosione atmosferica, riducendo al minimo la generazione di particelle e la contaminazione.
PARAMETRO PRINCIPALE
Industria delle attrezzature per forni ad alta temperatura | RSiC |
Contenuto di SiC (%) | ≥99% |
Densità apparente (g/cm3) | 2,65~2,75 |
Porosità apparente (%) | <17 |
Resistenza a temperatura ambiente (MPa) | 90~100 |
Resistenza a 1300℃ (MPa) | 100-110 |
Modulo di elasticità a 20℃ | 240 |
Conduttività termica a 1200℃ (W/mk) | 36 |
Espansione termica x10-6/℃ | 4.6 |
Temperatura massima di utilizzo (℃) | 1650℃ |
Durezza a 20°C (Kg/mm2) | 2000 |
Tenacità alla frattura a 20° (MpaxM1/2) | 2.0 |
DETTAGLIO DEL PRODOTTO
Nella fabbricazione di semiconduttori, il tubo del forno RSiC è il contenitore centrale all'interno di apparecchiature ad alta temperatura. Questo tubo del forno in carburo di silicio ad alta purezza crea un ambiente sigillato, uniforme e privo di contaminanti, essenziale per la lavorazione dei wafer.
Funzioni primarie:
Per alloggiare i wafer (caricati su wafer boat) e facilitare le fasi critiche ad alta temperatura, come la diffusione, l'ossidazione, la ricottura e la deposizione di film sottili.
Per garantire un involucro ermetico, il tubo del forno RSiC consente un controllo preciso del flusso e della distribuzione dei gas reattivi (ad esempio, O₂, N₂).
Le eccezionali proprietà del tubo del forno RSiC garantiscono la coerenza del processo, massimizzano la resa e sono fondamentali per la produzione di dispositivi semiconduttori avanzati.
IMBALLAGGIO
IL NOSTRO VANTAGGIO
Riseport Global Traders Ltd. (Shenyang) si concentra sui prodotti in carburo di silicio (SiC) e ha sviluppato un modello di servizi commerciali transfrontalieri per l'intera filiera del SiC attraverso l'integrazione delle risorse. L'azienda vanta un vantaggio competitivo nel coprire aspetti differenziati dell'intera filiera, integrando la fornitura di materie prime, la personalizzazione del prodotto e altri collegamenti. Grazie all'approvvigionamento centralizzato, riduce i costi marginali e garantisce una risposta rapida, migliorando l'efficienza e riducendo i costi per gli acquirenti. Fornisce servizi di prodotto personalizzati per soddisfare le diverse esigenze dei clienti, integrando logistica, dogana, pagamenti e altri collegamenti, e fornendo servizi completi e convenienti.
