Isolamento della camera del forno in SiC ad alta purezza
DESCRIZIONE DEL PRODOTTO
Il cilindro isolante in carburo di silicio ricristallizzato è un componente fondamentale nelle apparecchiature industriali ad alta temperatura di fascia alta, in particolare nei processi di trattamento ad alta temperatura nei settori dei semiconduttori, del fotovoltaico, della ceramica speciale e in altri settori. La funzione del cilindro isolante della camera del forno è quella di proteggere l'ambiente di produzione dei chip, un ambiente di produzione ultra pulito e ultra preciso.
Il cilindro isolante della camera del forno è composto da nitruro di silicio, noto anche come cilindro isolante in carburo di silicio. Il cilindro isolante in carburo di silicio garantisce la stabilità delle condizioni ambientali, non della temperatura. Mantiene un "microclima" costante, puro e inerte. I cilindri isolanti in SiC sono contenitori high-tech all'avanguardia che proteggono wafer dal valore di milioni di dollari e garantiscono la resa dei chip. I cilindri isolanti in SiC sono componenti essenziali nella produzione di chip.
Caratteristiche del cilindro isolante RSiC
1、Stabilità a temperatura ultra elevata: limite di resistenza alla temperatura, la temperatura di utilizzo a lungo termine può raggiungere i 1600 ℃, tolleranza a breve termine 1800 ℃.
2、Ritenzione della resistenza alle alte temperature: la resistenza alla compressione a 1500 ℃ del cilindro isolante in carburo di silicio è superiore a 100 MPa, mentre la resistenza del materiale isolante in allumina diminuisce di oltre il 50% alla stessa temperatura.
3. Massima efficienza termica: il cilindro isolante in SiC ha una bassa conduttività termica: 0,8-1,2 W/(m · K) (a 800 ℃), ridotta del 40% rispetto ai normali materiali in carburo di silicio, ottenuta grazie a una speciale progettazione della struttura dei pori. Struttura riflettente multistrato: utilizzando materiale RSiC, con elevata riflettività del calore radiante.
4、Inerzia chimica: Resistenza alla corrosione: il cilindro isolante in SiC può resistere a gas acidi come HCI, HF, vapore di H2SO4, ambiente alcalino come sale fuso di Na2CO3 e metalli fusi come Al, Cu, Ag, ecc.;
5. Il cilindro isolante in SiC ha una lunga durata.
CARATTERISTICHE E VANTAGGI
· Resistenza alle alte temperature
· Resistenza agli shock termici
· Elevata conduttività termica
· Elevata resistenza meccanica
· Resistenza agli acidi e agli alcali
· Resistenza all'usura
PARAMETRO PRINCIPALE
Industria delle attrezzature per forni ad alta temperatura | RSiC |
Contenuto di SiC (%) | ≥99% |
Densità apparente (g/cm3) | 2,65~2,75 |
Porosità apparente (%) | <17 |
Resistenza a temperatura ambiente (MPa) | 90~100 |
Resistenza a 1300℃ (MPa) | 100-110 |
Modulo di elasticità a 20℃ | 240 |
Conduttività termica a 1200℃ (W/mk) | 36 |
Espansione termica x10-6/℃ | 4.6 |
Temperatura massima di utilizzo (℃) | 1650℃ |
Durezza a 20°C (Kg/mm2) | 2000 |
Tenacità alla frattura a 20° (MpaxM1/2) | 2.0 |
DETTAGLIO DEL PRODOTTO
Il cilindro isolante ha una purezza ultra elevata: la purezza del corpo sinterizzato è superiore a 3N e la precisione di lavorazione può raggiungere 0,01 mm.
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