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I tubi dei forni a semiconduttore (come quelli utilizzati nei forni a diffusione, nei forni a ossidazione, ecc.) devono soddisfare requisiti rigorosi quali purezza ultra elevata, stabilità alle alte temperature e resistenza agli shock termici. Il tubo da forno RSiC è diventato un materiale di uso comune grazie alle sue eccellenti proprietà. La purezza del corpo sinterizzato è superiore a 3N e la precisione di lavorazione è di 0,01 mm.