Tubo di processo/tubo del forno RSiC ad alta purezza a parete sottile
DESCRIZIONE DEL PRODOTTO
Nelle apparecchiature ad alta temperatura per la produzione di semiconduttori e fotovoltaici, come forni a diffusione, forni CVD, forni di ricottura, ecc., il tubo del forno RSiC è un componente ausiliario fondamentale installato all'interno o all'esterno del tubo di processo principale e il ruolo del tubo di processo va ben oltre la semplice protezione fisica.
I tubi del forno possono prevenire la contaminazione dei metalli, garantendo il controllo dell'inquinamento e la purezza durante il processo;
Protegge il tubo di processo principale e prolunga la durata utile dell'attrezzatura.
I tubi da forno RSiC presentano notevoli vantaggi nei settori manifatturieri di fascia alta, come semiconduttori, fotovoltaico e semiconduttori di terza generazione, in processi ad alta temperatura, corrosivi e ad alta purezza.
Caratteristiche del tubo del forno RSiC
1、Prestazioni a temperature estremamente elevate: temperatura fino a 1600 ℃, ben superiore al tubo di processo al quarzo (limite di 1200 ℃) e al normale tubo di processo in ceramica;
2、Eccellente resistenza agli shock termici: il tubo di processo può resistere a rapidi aumenti e diminuzioni di temperatura di 1000 ℃/min;
3、Inerzia chimica super forte: resistente ai gas corrosivi come HCl, Cl₂, HF, ecc.;
4、Altissima purezza e basso inquinamento: contenuto di impurità metalliche <1 ppm;
5、Lunga durata: forte capacità anti-sedimentazione e bassi costi di manutenzione;
6、Ottimizzazione dell'uniformità del campo termico: il tubo del forno RSiC ha un'elevata conduttività termica, una rapida omogeneizzazione e una riduzione della differenza di temperatura assiale nel forno (controllabile entro ± 0,3 ℃).
PARAMETRO PRINCIPALE
Industria delle attrezzature per forni ad alta temperatura | RSiC |
Contenuto di SiC (%) | ≥99% |
Densità apparente (g/cm3) | 2,65~2,75 |
Porosità apparente (%) | <17 |
Resistenza a temperatura ambiente (MPa) | 90~100 |
Resistenza a 1300℃ (MPa) | 100-110 |
Modulo di elasticità a 20℃ | 240 |
Conduttività termica a 1200℃ (W/mk) | 36 |
Espansione termica x10-6/℃ | 4.6 |
Temperatura massima di utilizzo (℃) | 1650℃ |
Durezza a 20°C (Kg/mm2) | 2000 |
Tenacità alla frattura a 20° (MpaxM1/2) | 2.0 |
DETTAGLIO DEL PRODOTTO
Tubo del forno/tubo di processo RSiC, la purezza del corpo sinterizzato è superiore a 3N e la precisione di lavorazione del tubo di processo è di 0,01 mm.
IMBALLAGGIO
CHI SIAMO
In qualità di impresa commerciale specializzata nei servizi dell'intera filiera del carburo di silicio (SiC), Riseport Global Traders Ltd. (Shenyang) vanta notevoli vantaggi nella piattaforma di commercio estero in termini di modello di business e catena del valore.L'azienda ha la capacità di integrare la catena industriale: a monte: collegandosi con le principali aziende nazionali produttrici di carburo di silicio, coprendo l'intera gamma di materie prime, prodotti (abrasivi, parti in ceramica) e dispositivi semiconduttori (wafer, moduli di potenza).Downstream: servire acquirenti internazionali, fornire servizi personalizzati e offrire soluzioni di approvvigionamento complete.Fornire servizi di alta qualità per gli acquisti, la logistica, lo sdoganamento, la liquidazione transfrontaliera, ecc.
