I tubi dei forni a semiconduttore (come quelli utilizzati nei forni a diffusione, nei forni a ossidazione, ecc.) devono soddisfare requisiti rigorosi quali purezza ultra elevata, stabilità alle alte temperature e resistenza agli shock termici. Il tubo da forno RSiC è diventato un materiale di uso comune grazie alle sue eccellenti proprietà. La purezza del corpo sinterizzato è superiore a 3N e la precisione di lavorazione è di 0,01 mm.
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Tubo del forno RSiC: il tubo del forno in carburo di silicio ricristallizzato è un componente chiave nelle apparecchiature di produzione di semiconduttori, utilizzato principalmente in camere di processo ad alta temperatura (come crescita epitassiale, impianto ionico, forni a diffusione, ecc.). La purezza del corpo sinterizzato è superiore a 3N e la precisione di lavorazione può raggiungere 0,01 mm, soddisfacendo i requisiti di purezza ultra elevata, resistenza alla corrosione e dimensioni di precisione.
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