Paletta a sbalzo in carburo di silicio ricristallizzato
DESCRIZIONE DEL PRODOTTO
La pala a sbalzo in carburo di silicio rappresenta un componente strutturale ceramico ad alte prestazioni, caratterizzato dal suo design piatto con configurazioni a strisce allungate o perforate. Questa pala a sbalzo in SiC specializzata viene utilizzata principalmente nei sistemi di movimentazione di wafer fotovoltaici e semiconduttori, fornendo un supporto affidabile per i materiali durante i processi di sinterizzazione. Realizzata utilizzando polvere proprietaria di carburo di silicio ad alta purezza (contenuto di SiC >99,9990%), la nostra azienda possiede capacità uniche nella produzione di componenti a sbalzo in SiC su larga scala, lunghi diversi metri e con requisiti geometrici complessi. Queste unità avanzate a sbalzo in carburo di silicio fungono da elementi critici di supporto e trasporto nelle applicazioni di trattamento termico dei wafer e di deposizione chimica da vapore.
Caratteristiche della pala a sbalzo in carburo di silicio ricristallizzato
1. Adattabilità ambientale
Resistenza alle alte temperature: la pala a sbalzo in SiC mantiene l'integrità strutturale a temperature operative che raggiungono i 1650 °C, resistendo anche a esposizioni termiche a breve termine più elevate senza deformazioni, il che la rende ideale per LPCVD e altri processi ad alta temperatura.
Resistenza agli shock termici: grazie al suo basso coefficiente di dilatazione termica, questa pala a sbalzo resiste a rapidi cicli termici, prolungando notevolmente gli intervalli di manutenzione delle apparecchiature.
2. Prestazioni meccaniche
Elevata capacità di carico: l'eccezionale resistenza alla flessione consente alla pala a sbalzo in SiC di supportare carichi di wafer sostanzialmente più elevati rispetto ai tradizionali materiali al quarzo, migliorando la produttività.
Resistenza all'usura e alla corrosione: con durezza Mohs di livello 9, la pala a sbalzo in SiC dimostra un'eccellente resistenza agli acidi, agli alcali e all'erosione delle particelle, riducendo al minimo i rischi di contaminazione e preservando la purezza del wafer.
3. Costruzione leggera e lunga durata
La pala a sbalzo a bassa densità riduce i carichi del sistema meccanico, offrendo al contempo una durata utile da 3 a 5 volte superiore rispetto alle alternative in metallo o quarzo, riducendo sostanzialmente i costi totali di proprietà.
4. Precisione e stabilità
La finitura superficiale superiore e l'eccezionale stabilità termica consentono alla pala a sbalzo in carburo di silicio di facilitare la movimentazione robotica automatizzata, soddisfacendo al contempo i rigorosi requisiti di precisione per la lavorazione dei wafer semiconduttori.
CARATTERISTICHE E VANTAGGI
Resistenza alle alte temperature
Resistenza agli shock termici
Elevata conduttività termica
Elevata resistenza meccanica
Resistenza agli acidi e agli alcali
Resistenza all'usura
PARAMETRO PRINCIPALE
Industria delle attrezzature per forni ad alta temperatura | RSiC |
Contenuto di SiC (%) | ≥99% |
Densità apparente (g/cm3) | 2,65~2,75 |
Porosità apparente (%) | <17 |
Resistenza a temperatura ambiente (MPa) | 90~100 |
Resistenza a 1300℃ (MPa) | 100-110 |
Modulo di elasticità a 20℃ | 240 |
Conduttività termica a 1200℃ (W/mk) | 36 |
Espansione termica x10-6/℃ | 4.6 |
Temperatura massima di utilizzo (℃) | 1650℃ |
Durezza a 20°C (Kg/mm2) | 2000 |
Tenacità alla frattura a 20° (MpaxM1/2) | 2.0 |
APPLICAZIONE
Applicazioni industriali delle pale a sbalzo in SiC
Produzione di semiconduttori: la pala a sbalzo in carburo di silicio fornisce un supporto essenziale all'interno dei forni a diffusione e delle apparecchiature CVD, garantendo ambienti di lavorazione dei wafer stabili.
Produzione fotovoltaica: in quanto elementi portanti critici nei forni di sinterizzazione dei wafer di silicio, le pale a sbalzo in SiC consentono una produzione di massa efficiente di celle solari.
Lavorazione avanzata della ceramica: questa pala a sbalzo facilita la sinterizzazione ad alta temperatura di ceramiche tecniche, tra cui componenti in nitruro di silicio e zirconia.
Applicazioni nell'industria del vetro: la robusta pala a sbalzo in carburo di silicio funge efficacemente da rulli di trasporto del vetro fuso nei sistemi di lavorazione del vetro ad alta temperatura.
CHI SIAMO
Dopo oltre 20 anni di ricerca e innovazione di prodotto, il settore dell'azienda comprende mobili per forni industriali, polvere di materie prime in carburo di silicio, pellicole ceramiche ecocompatibili, ceramiche elettroniche, fotovoltaico a semiconduttore, ecc. I suoi prodotti vengono esportati in oltre 20 paesi e regioni d'oltremare, tra cui Stati Uniti, Giappone, Germania, Italia, Spagna, Australia, Sudafrica, Brasile, Thailandia e così via. L'azienda ha agenti in diversi paesi e il volume delle esportazioni rappresenterà il 30% della produzione totale nel 2024.
