Barca wafer RSiC ad alta purezza da 8 pollici con denti lunghi
Il wafer boat da 8 pollici è un dispositivo di supporto specializzato realizzato in carburo di silicio ricristallizzato (RSiC), specificamente progettato per la lavorazione di wafer da 200 mm. Questo wafer boat da 8 pollici presenta un esclusivo design a denti lunghi che migliora significativamente l'efficienza di dissipazione del calore, supportando al contempo l'integrazione multi-chip ad alta densità. Il wafer boat in RSiC dimostra caratteristiche prestazionali eccezionali, tra cui resistenza alle alte temperature, immunità alla corrosione, resistenza meccanica superiore ed eccellenti proprietà dei semiconduttori, rendendolo indispensabile nella produzione di circuiti integrati, nella produzione di LED e in altre applicazioni microelettroniche.
Questo wafer boat da 8 pollici mantiene livelli di contaminazione minimi e tolleranze di produzione precise, fornendo un supporto affidabile per i processi di preparazione dei semiconduttori ad alta temperatura. La nostra azienda produce diverse configurazioni, tra cui modelli a "tile", strutture a tre e quattro colonne, disponibili nelle specifiche da 6/8/12 pollici. Il wafer boat RSiC è ampiamente utilizzato nei settori dei semiconduttori e del fotovoltaico, ed è particolarmente adatto per i processi di ossidazione e impiantazione ionica di wafer di piccole dimensioni.
PARAMETRI TECNICI DEL MATERIALE
Industria dei semiconduttori/fotovoltaica | RSiC |
Purezza SiC (%) | 99,9-99,99 |
Densità apparente (g/cm3) | 2,65-2,75 |
Porosità apparente (%) | 15-16 |
Resistenza a temperatura ambiente (MPa) | 90 |
Resistenza a 1300℃ (MPa) | 100 |
Resistenza alla trazione del corpo sinterizzato (MPa) | 25 |
DETTAGLIO DEL PRODOTTO
Il wafer boat RSiC rappresenta una soluzione di supporto di qualità superiore, specificamente progettata per wafer da 200 mm (8 pollici), ampiamente utilizzata in processi termici critici per semiconduttori, tra cui le fasi di diffusione e ossidazione. Questo wafer boat avanzato da 8 pollici utilizza carburo di silicio ricristallizzato come materiale di base, arricchito con un rivestimento in carburo di silicio applicato tramite tecnologia di deposizione chimica da vapore (CVD). Il wafer boat da 8 pollici combina efficacemente l'integrità strutturale con una protezione superficiale superiore.
Il wafer RSiC mantiene una perfetta compatibilità di espansione termica tra substrato e rivestimento, eliminando i rischi di crepe o delaminazione.
Il wafer boat RSiC dimostra una notevole stabilità termica derivante dall'elevato punto di fusione intrinseco del carburo di silicio e dall'inerzia chimica, mantenendo integrità strutturale e prestazioni costanti a temperature di lavorazione superiori a 1250 °C, senza rammollimento, deformazione o contaminazione ambientale. Con una durata utile tipica di 2-3 anni, questo wafer boat da 8 pollici riduce sostanzialmente la frequenza di sostituzione e i costi di manutenzione, riducendo al minimo i tempi di fermo delle apparecchiature e migliorando l'economia di produzione.
IMBALLAGGIO
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