Semiconduttore SiC per barche wafer da 6 pollici ad alta durezza
Il wafer in carburo di silicio presenta molteplici vantaggi significativi, rendendolo eccezionale in ambienti difficili come alte temperature, elevata pulizia e forte corrosione.
Il wafer in carburo di silicio presenta un'elevata stabilità termica. La temperatura di esercizio a lungo termine del wafer in SiC può raggiungere i 1350℃~1650℃, soddisfacendo i requisiti dei principali processi di produzione di semiconduttori come la deposizione chimica da vapore (CVD), la diffusione, la ricottura, ecc.; il wafer in SiC non si ammorbidisce né si deforma a 1700℃ per un breve periodo di tempo. Il wafer in SiC è adatto per apparecchiature di livello superiore come i forni a wafer singolo in carburo di silicio.
La barca in carburo di silicio presenta un basso coefficiente di dilatazione termica e un'eccellente stabilità agli shock termici, che le consentono di resistere a rapidi sbalzi di temperatura e di ridurre le fessurazioni strutturali causate da stress termico. Anche in atmosfere complesse ad alta temperatura, la barca in carburo di silicio mantiene una buona morfologia e prestazioni.
I wafer in SiC presentano un'elevata purezza superficiale e caratteristiche di basso inquinamento. Il materiale presenta un'elevata purezza e un contenuto di impurità metalliche estremamente basso, il che può evitare l'inquinamento secondario dei wafer di silicio; la rugosità superficiale Ra può essere controllata al di sotto di 0,1 μm, soddisfacendo i rigorosi requisiti dei processi avanzati per i livelli di pulizia.
Inoltre, la personalizzazione della barca wafer in SiC consente di ottenere scanalature per i denti senza sbavature e intatte, e può essere personalizzata in varie dimensioni, come barca wafer da 4 pollici, barca wafer da 6 pollici, barca wafer da 8 pollici, barca wafer da 12 pollici, ecc.
Infine, la struttura della barca in wafer di SiC è caratterizzata da elevata resistenza e lunga durata, con una durata media 5-10 volte superiore rispetto alle barche in quarzo tradizionali, riducendo significativamente la frequenza di sostituzione delle apparecchiature e i costi complessivi di proprietà.
PARAMETRI TECNICI DEL MATERIALE
Industria dei semiconduttori/fotovoltaica | RSiC |
Purezza SiC (%) | 99,9-99,99 |
Densità apparente (g/cm3) | 2,65-2,75 |
Porosità apparente (%) | 15-16 |
Resistenza a temperatura ambiente (MPa) | 90 |
Resistenza a 1300℃ (MPa) | 100 |
Resistenza alla connessione del corpo sinterizzato (MPa) | 25 |
DETTAGLIO DEL PRODOTTO
Questo prodotto è una barca per wafer da 6 pollici, con diametro di 150 mm, utilizzata per trasportare il corrispondente wafer da 6 pollici. Il numero di wafer che una barca per wafer da 6 pollici può ospitare è solitamente compreso tra 25 e 100.
Rispetto ai materiali al quarzo, le barchette per wafer da 6 pollici presentano diverse caratteristiche tipiche delle ceramiche al carburo di silicio. Le barchette per wafer da 6 pollici non sono facili da produrre deformazioni da sforzo di flessione e sollecitazioni termiche, e possono adattarsi al difficile ambiente di reazione di forte corrosione e temperature elevatissime nei giunti di produzione dei wafer. La ceramica al carburo di silicio è il materiale migliore per le barchette per wafer e le barchette per wafer da 6 pollici sono anche un prodotto emergente nel mercato delle barchette per wafer.
IMBALLAGGIO
CHI SIAMO
Riseport Global Traders Ltd. (Shenyang) è un'azienda integrata che unisce industria e commercio, specializzata in soluzioni personalizzate in carburo di silicio. Offriamo servizi OEM e ODM completi, realizzando attrezzature per forni su misura attraverso la personalizzazione dimensionale e la progettazione tecnica. Grazie al supporto della convalida dei campioni e a rigorosi standard qualitativi, garantiamo prestazioni affidabili per diverse esigenze produttive.
